Rusia prueba una herramienta de litografía para chips de 150 nm sin máscara

Rusia ha construido un sistema de litografía por haz de electrones con reglas de diseño de 150 nm, orientado al prototipado de chips, la investigación y series de pequeña producción en lugar de procesadores de alto volumen de TSMC o Intel. El desarrollador es el Zelenograd Nanotechnology Center, y dos unidades prototipo están ahora sometidas a pruebas integradas que se espera duren alrededor de cuatro meses.

La característica principal es sencilla: el sistema funciona sin máscaras. Eso significa que los patrones de circuitos pueden escribirse directamente sobre silicio y otros sustratos, y también se pueden fabricar fotomáscaras sin un ciclo separado de máscaras. La litografía por haz de electrones es más lenta que la fotolitografía, pero evita la necesidad de fabricar una máscara separada para cada diseño. Para I+D y la electrónica especializada, ese intercambio puede ser más útil que la velocidad bruta.

Para la microelectrónica avanzada, 150 nm ya no es de vanguardia. Pero para el trabajo de laboratorio, el desarrollo de procesos y lotes limitados de chips, sigue siendo práctico. El enfoque sin máscara también acorta el camino desde el diseño hasta la producción de prueba, especialmente para clientes que necesitan docenas o cientos de chips con parámetros específicos en lugar de miles de dies idénticos.

Detalles clave del proyecto:

• Reglas de diseño: 150 nm
• Tipo de tecnología: litografía por haz de electrones
• Modo de operación: sin máscara
• Estado: dos unidades prototipo en pruebas
• Periodo de pruebas: alrededor de cuatro meses

Planes de equipamiento para chips del Zelenograd Nanotechnology Center

Este no es el primer movimiento del centro para cubrir huecos en la cadena de fabricación. Anteriormente presentó una máquina de fotolitografía doméstica de 350 nm, y también está desarrollando equipos para procesos de 130 nm. La estrategia parece ser una línea de herramientas para diferentes tareas en lugar de un único sistema universal.

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A escala mundial, 150 nm se ve anticuado, ya que los grandes fabricantes de chips hace tiempo pasaron a nodos mucho más finos. Pero la fuente argumenta que el equipo de esta clase sigue importando en Rusia, donde los sistemas importados pueden enfrentar restricciones y universidades, institutos de investigación y usuarios industriales pueden valorar más el acceso al proceso que las especificaciones de gama alta.

El telón de fondo más amplio es la financiación. Informes anteriores dijeron que el desarrollador de la primera bomba atómica soviética recibió cerca de 1.000 millones de rublos para construir equipos modernos de fabricación de chips. Si las pruebas tienen éxito, el siguiente paso será perfeccionar la máquina y desplegarla en proyectos aplicados, una prueba clave de si Rusia puede cubrir al menos parte de sus necesidades de prototipado y fabricación en pequeñas series sin depender de las importaciones.